螺桿真空泵的使用流程需嚴格遵循 “開機前檢查→開機操作→運行監控→停機操作→停機后維護” 的邏輯順序，確保設備安全、高效運行，同時避免因操作不當導致故障。以下是詳細步驟及關鍵注意事項：

一、開機前檢查（核心：排除安全隱患，確認設備狀態）

開機前需全面排查設備及周邊環境，重點關注 “安全、潤滑、密封、電路” 四大維度，具體如下：

1. 安全與環境檢查

①　確認真空泵周邊無雜物堆積，預留至少 0.5 米操作空間，避免散熱不良或操作受阻；

②　檢查設備接地是否牢固（接地電阻≤4Ω），電源線、控制線無破損、老化，防止漏電風險；

③　若抽除的是腐蝕性、易燃易爆氣體，需確認配套的氣體過濾 / 防爆裝置（如活性炭過濾器、阻火器）已安裝且完好，排氣管道連接緊密、無泄漏。

2. 潤滑系統檢查

①　打開齒輪箱油位觀察窗，確認潤滑油（通常為專用真空泵齒輪油，需符合設備說明書牌號，如 ISO VG 46）油位在 “低” 與 “高” 刻度之間，油質清澈無乳化、發黑或雜質；

②　若設備停機超過 1 個月，需手動轉動電機聯軸器 2-3 圈，檢查是否有卡滯，同時讓潤滑油均勻覆蓋齒輪表面，避免啟動時干摩擦。

3. 冷卻系統檢查

①　若為水冷型真空泵，檢查冷卻水入口閥門是否開啟，冷卻水管路無堵塞、泄漏，水壓（通常 0.1-0.3MPa）、水溫（≤32℃）符合要求；

②　若為風冷型，確認散熱風扇葉片無變形、異物纏繞，風扇電機接線正常。

4. 密封與真空系統檢查

①　檢查真空泵進氣口、排氣口的法蘭密封墊（常用丁腈橡膠或氟橡膠，根據氣體性質選擇）是否完好，連接螺栓無松動；

②　關閉進氣閥門，手動關閉排氣端的止回閥（若有），確保泵腔初始密封良好，避免啟動時氣體倒灌。

5. 儀表與閥門檢查

①　確認真空壓力表、溫度表（齒輪箱溫度、排氣溫度）、電流儀表等顯示正常；

②　檢查進氣閥、排氣閥、旁通閥（若有）的開關狀態，確保開機前進氣閥關閉、旁通閥（用于卸荷啟動）打開（部分設備無需旁通閥，以說明書為準）。

二、開機操作（核心：平穩啟動，避免沖擊負荷）

嚴格按照 “先輔助系統→后主電機→再加載” 的順序啟動，具體步驟如下：

1. 啟動輔助系統

①　若為水冷型，先打開冷卻水循環泵（或開啟冷卻水總閥），確認冷卻水正常流通（觀察排水管有穩定水流）；

②　若設備配有真空度控制儀、PLC 控制系統，先接通控制電源，進入設備操作界面。

2. 啟動主電機（卸荷啟動）

①　閉合主電源開關，按下 “啟動” 按鈕，觀察電機轉向是否正確（若反轉，需立即停機，調換電源線相位）；

②　電機啟動后，保持旁通閥開啟（或進氣閥關閉）狀態，讓真空泵在 “無負荷” 下運行 3-5 分鐘，期間觀察：

齒輪箱溫度（正常≤80℃）、電機電流（不超過額定電流的 110%）；

設備運轉聲音（應無異常噪音，如 “咔噠” 摩擦聲、“嗡嗡” 過載聲）。

3. 加載（開啟抽氣）

①　待電機運行平穩（通常 3-5 分鐘后），緩慢打開進氣閥門（建議開度從 1/4 逐步增至全開，避免瞬時進氣量過大導致泵腔壓力驟降、電機過載）；

②　若配有旁通閥，在進氣閥打開的同時，緩慢關閉旁通閥，直至關閉；

③　觀察真空壓力表，確認真空度逐步上升，達到工藝要求范圍（如半導體行業通常需≤1Pa，化工干燥需≤100Pa，具體以工藝需求為準）。

三、運行監控（核心：實時跟蹤關鍵參數，及時預警）

設備運行期間需定期巡檢（建議每 1-2 小時記錄 1 次數據），重點監控以下 5 個關鍵參數，異常時立即停機排查：

1. 真空度

①　正常范圍（參考）：符合工藝要求，無驟降

②　異常原因及處理建議：驟降可能為進氣閥泄漏、密封墊破損→停機檢查密封；緩慢下降可能為泵腔磨損→聯系維修

2. 齒輪箱溫度

①　正常范圍（參考）：≤80℃（最高不超過 90℃）

②　異常原因及處理建議：超溫可能為潤滑油不足 / 變質、冷卻失效→停機檢查油位 / 冷卻系統

3. 電機電流

①　正常范圍（參考）：≤額定電流（如 15kW 電機≤28A）

②　異常原因及處理建議：過載可能為進氣量過大、轉子卡滯→減小進氣量或停機檢查轉子

4. 排氣溫度

①　正常范圍（參考）：≤120℃（水冷）/≤150℃（風冷）

②　異常原因及處理建議：超溫可能為冷卻不足、氣體壓縮量過大→檢查冷卻系統或工藝負載

5. 運轉聲音

①　正常范圍（參考）：均勻、低沉，無尖銳噪音

②　異常原因及處理建議：異常噪音可能為齒輪磨損、軸承損壞、轉子間隙過大→停機拆解檢查

此外，若抽除含粉塵或可凝性氣體（如水蒸氣），需每 4 小時檢查進氣過濾器是否堵塞（通過過濾器前后壓差判斷，壓差≥0.02MPa 時需清洗或更換濾芯），避免進氣阻力過大影響抽速。

四、停機操作（核心：逐步卸荷，保護設備與系統）

停機需遵循 “先卸荷→后停主電機→再關輔助系統” 的順序，避免真空系統倒灌或設備沖擊，具體步驟如下：

1. 卸荷（停止抽氣）

①　先緩慢關閉進氣閥門，若配有旁通閥，可同時緩慢打開旁通閥（平衡泵腔壓力），讓真空泵在 “無負載” 狀態下運行 2-3 分鐘，排出泵腔內殘留氣體；

②　若工藝系統需保持真空，需先關閉真空泵與系統連接的閥門，再進行卸荷操作。

2. 停止主電機

①　按下 “停機” 按鈕，待電機停止轉動（通常需 1-2 分鐘）后，斷開主電源開關；

②　若設備配有排氣止回閥，確認停機后止回閥已關閉，防止大氣倒灌進泵腔。

3. 關閉輔助系統

①　若為水冷型，待齒輪箱溫度降至 50℃以下后，再關閉冷卻水循環泵或冷卻水總閥（避免殘留熱量導致部件損壞）；

②　斷開控制電源，關閉設備操作界面。

4. 緊急停機（特殊情況）

①　若出現以下緊急情況，需立即按下 “急?！?按鈕：電機冒煙、齒輪箱溫度驟升超 100℃、設備劇烈振動、大量漏油 / 漏水、有刺鼻異味（如燒焦味）；

②　緊急停機后，需排查故障原因，未解決前不得重新啟動。

五、停機后維護（核心：延長設備壽命，預防下次故障）

停機后需進行基礎維護，為下次啟動做好準備，具體如下：

1. 清潔與檢查

①　擦拭設備表面油污、灰塵，清理進氣過濾器濾芯（可壓縮空氣反吹，若為紙質濾芯需更換）；

②　檢查密封墊、連接螺栓，若有松動及時緊固，密封墊老化（如變硬、開裂）需更換。

2. 潤滑油維護

①　若設備累計運行超過 2000 小時（或 6 個月，以先到為準），需更換齒輪箱潤滑油：打開放油閥排空舊油，用新油沖洗 1-2 次（每次加入 1/3 新油量，轉動聯軸器后排空），再加入規定量新油；

②　長期停機（超過 1 個月）時，需在進氣口、排氣口法蘭處加蓋防塵罩，防止雜物進入。

3. 記錄與歸檔

①　記錄本次運行時間、真空度、溫度、電流等關鍵數據，以及出現的異常情況和處理措施，形成設備運行檔案，便于后續故障追溯和維護計劃制定。