【儀表網 行業標準】近日，國家標準計劃《鎳鉑靶材合金化學分析方法 第1部分:鉑含量的測定 電感耦合等離子體原子發射光譜法》編制完成并征求意見，時間截止到2023年6月17日。主要起草單位為貴研鉑業股份有限公司、貴研檢測科技(云南)有限公司、北京有色金屬與稀土應用研究所有限公司等。
根據YS/T 937-2013鎳鉑靶材產品標準中 NiPt3、NiPt5、NiPt10、NiPt15Pt含量的準確、快速測定要求，化學法流程長，從準確、快速考慮，電感耦合等離子體原子發射光譜無疑是首選。
鎳鉑合金靶材廣泛應用于半導體工業中,成為保證半導體器件性能和發展半導體技術的關鍵材料。鎳與鉑同屬過渡族金屬,其中鎳表現為鐵磁性，鉑表現為順磁性，因此隨鉑含量的增加，Ni-Pt合金磁性減弱，由鐵磁性向順磁性轉變，因鉑含量的增加能夠提高薄膜的高溫穩定性，并且改善界面形貌，減少侵占缺陷。
所以不同鉑含量的鎳鉑合金靶材在半導體制造工藝中發揮了重要作用，因此，材料研究和生產經營人員都需要更快速、更準確的掌握其中鉑元素的含量。鉑含量結果的準確和分析方法的標準化是保證產品質量，指導公平、公正交易，維護最佳秩序，促進最佳共同效益的必要條件之一，故制定該標準是很有必要的。
經過資料搜索，YS/T 937-2013鎳鉑靶材產品標準，附錄A中1%～15%的鉑含量也采用ICP-AES法測定，但此方法無內標控制，鉑含量大于5%以上采用稀釋后測定，稀釋過程容易引入誤差，而且方法中沒有重復性及再現性結果。
本文采用Y為內標測定控制，無稀釋過程，保證測定的準確性，且增加重復性及再現性結果計算。保證了方法的適用及準確。
本標準的制定，對考察物料平衡，公平、公正交易，維護行業最佳秩序，促進最佳共同效益和推廣應用具有重要意義。同時，也為產品質量保證提供有力支撐。
儀器設備
電感耦合等離子體原子發射光譜儀(工作參數見附錄A)。在儀器最佳工作條件下凡是能達到下列指標者均可使用:
——光源:氬等離子體光源，發生器最大輸出功率不小于1.30kW。
——分辨率:20Onm 時光學分辨率不大于0.010nm; 400nm時光學分辨率不大于0.020nm。
——儀器穩定性:儀器1h內漂移不大于2.0%。
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